2024年11月13日，武汉新芯集成电股份有限公司宣布取得一项关于半导体制程设备及其保养方法的专利，授权公告号为CN118610131B，申请日期为2024年8月。这一专利的获得
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维护保养 作者：
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2024-12-11 13.32.14 点击：
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维护保养 作者：
佚名 日期：
2024-12-11 13.32.00 点击：
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