离开焦线处，数码显微镜电子束斑成模糊椭圆斑，而在两根焦线之间显微镜轴上某点处可得到电子束的最小模糊圆斑。这个模糊圆的半径称为数码显微镜轴上像散最。如果换算到物方得到的值与极靴的椭圆度有关，可以从计算得到。除加工和装配过程会带来像散外，在使用过程中极靴孔和显微镜光阑的沾污也会轴对称性。因此为减小像散除控制设计制造过程外，通常在显微镜中都装备有消像散器，用附加的不对称性有意识抵消原有的椭圆性。最后还应经常清洗显微镜光中的有关部件。
景深就是在保持显微镜像清晰的前提下，可允许徕卡显微镜物面在轴上的移动距离，或者说可允许物上不同部位处的凹凸差。根据图1-10，理想情况下物点尸成像在Q点。如果物面在P点前后忆间移动，则在Q看到的物有一定横向宽度。如果显微镜有各种像差，该系统实际存在一个对物的可分辨极限(分辨率S)。只要P间平面上的物点宽度小于或等于s，则在Q处的成像效果与P点处几何物点造成的像斑是相同的，即其徕卡显微镜清晰度相同。因此可允许的物在轴上最大距离PP称显微镜景深Do，它由下式定出:式中8一电子光学系统对物的分辨率: ao一电子束的物方有效孔径角。对于100kV的显微镜，如果分辨率为l nm，物镜孔径角为5X10rad，则偏光显微镜景深Do = 200nm。这表示样品厚度或表面凹凸起伏不超过200nm时，能得到均匀清晰的图像。由此可见景深也常常成为对偏光显微镜样品厚度的因素之一。
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